要用于各型材料的微区准确定性定量分析、轻元素分析、痕量元素分析等、精确元素成分分布，对材料微区化学组成进行上述的点、线、面定性和定量分析，实行波谱、能谱一体化分析。广泛用于金属、冶金、矿物、电子元器件、能源材料等领域的微观准确定性定量分析，适用领域包括材料学、化学、化工、物理、材料等相关学科。..
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