它通过在不同真空腔室内独立完成溅射过程，避免交叉污染，从而确保薄膜的纯度和性能。该设备需满足以下要求：质量：薄膜沉积均匀性高，厚度控制精确，纯度高，结构致密，性能稳定可重复。服务：提供稳定的技术支持，包括设备安装、调试、操作培训及后续维护。安全：严格遵循高压、真空和高温操作的安全标准，具备完善.

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