膜等材料上加工微米至纳米级图形。采购数量：1台质量要求：光源及照明系统：光源功率20W，光束传输小于等于20m,波长248nm，KrF激光技术和可变激光频率控制装置，将高激光功率与高效利用激光脉冲相结合。投影系统：********可变数值孔径深紫外光投影透镜。分辨率（CriticalDimension）：≤********μm分辨率下的CD变化量..
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