氧化碳灭火器14台（本系统共购买14台，详细机台配置如下：ARRAYPHOTO光阻涂布机用:4台；TPOTPHOTO光阻涂布机用：1台；ARRAYWETSTRIPPER用:4台；TPOTWETSTRIPPER用：1台；PICOATER1GANTRY用：2台；MASKCLEANER用：2台）资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0730-254********3/********

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