一、项目基本情况 原公告的采购项目编号：N51********5 原公告的采购项目名称：材料与表面技术重点实验室光-热材料与技术设备采购项目 首次公告日期：2025年08月13日 二、更正信息： 更正事项：采购文件 更正原因： 更正采购文件需求描述 更正内容： ********技术要求 微波等离子体原子层沉积系统技术参数： ▲11、热式、等离子体快速拆换接口；微波等离子体发生器整体重量≤2kg（投标时提供有效证明微博等离子体发生器整体重量≤2kg的实物证明图片并加盖投标人公章），可实现热式和等离子体系统的快速拆换（经培训后人员拆换平均时间不超过1分钟）。 更正为： ▲11、热式、等离子体快速拆换接口；微波等离子体发生器整体重量≤2kg（投标时提供有效证明微波等离子体发生器整体重量≤2kg的实物证明图片并加盖投标人公章），可实现热式和等离子体系统的快速拆换（经培训后人员拆换平均时间不超过1分钟）。 其他内容不变 更正日期：2025年08月19日
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