目标:主要用于准确地观测样品在大气下表面微纳米尺度三维形貌；同时可对样品多种表面物性进行研究，能测试多种材料表面相图、表面电势、压电力、摩擦力特性等，精确测试多种力学特性；1、主流设计平板闭环扫描器，X-Y扫描器在样品下方,Z向扫描器在样品上方，保证三轴运动方向正交，避免扫描器顶端弧形扫描：闭环控制XY.
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联系人：程姣
电话：010-53605906
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