一、项目基本情况 原公告的采购项目编号：ZF********　　　　　　 原公告的采购项目名称：中国科学技术大学湿法工艺台　　　　　　 首次公告日期：2025年08月04日　　　　　　 二、更正信息 更正事项：采购文件 更正内容： ****公司现对中国科学技术大学湿法工艺台招标文件做出如下答疑澄清。此次答疑澄清为招标文件的组成部分，具有同等效力。答疑澄清与招标文件不同之处，按本次答疑澄清执行。项目答疑澄清如下：1.前道-槽式晶圆清洗：（1）****局：槽体单排摆放，还是双排摆放（药液槽在内侧，水槽靠人在外侧）？答：所有工艺台的槽体（如有）均为双排摆放，药液槽在内侧，水槽靠人在外侧。（2）电力：额定电压380 V，额定功率≤5 kW，设备额定功率不可能小于5KW，且标注为星号。答：针对所有工艺台的功率限定做出调整，调整后的参数详见更新后的采购需求附件。（3）尺寸：内宽：>2250 mm；加甩干机、柜子外宽

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