半导体器件制造的核心技术之一，紫外光刻机是微纳加工工艺中必不可少的设备之一。考虑到《光刻工艺原理与应用》、《半导体物理与器件》和《半导体制造设备运维》等###路工程技术专业（群）的专业课，根###路工程技术专业的人才培养目标和学生就业需要，半导体器件制造中的光刻工艺也是学生必须掌握的重要技.

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