一、项目信息采购人：西湖大学光电研究院项目名称：特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺拟采购的服务说明：序号标项内容数量简要技术要求、用途备注1特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺1项进行研制特殊氮化硅硬掩膜硅基非标准特殊开槽晶圆级工艺采用单一来源采购方式的原因及说明：非易失相变调控器件采用特殊相变材料，对波导进行非易失相位调制，且方案不能对现有硅光PDK器件性能造成破坏，这需要非标准特殊开槽工艺进行加工流片，否则硅波导上方的氧化硅层将阻碍相变材料集成在波导上，而无法实现非易失调控。SIMIT具备90nm线宽能力、且可提供定制开槽工艺满足我方需求。主要包括后道工艺开发和前道工艺开发，其中后道工艺开发步骤主要是硅光全流程工艺之后开槽到氮化硅顶部;前道工艺开发具体工艺流程如下，先由SIMIT完成前道集成到掺杂工艺，并完成光刻胶步骤;再寄回由我方完成相变和氧化硅晶圆制备;我方完成后再寄回SIMIT完成后道及两层金属工艺开发。因此，中国科学院上海微系统与信息技术研究所(SIMIT)工艺平台是唯一制造平台。二、拟定供应商信息序号被邀请供应商地址1中国科学院上海微系统与信息技术研究###市长###路865号
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