一、采购项目信息 1．项目名称：华中科技大学锆钛酸铅热释电探测器芯片流片2．项目编号：HW********、HJXG********．项目概况：华中科技大学锆钛酸铅热释电探测器芯片流片，具体详见文件中的第六章。序号服务名称说明1电子蒸镀系统（金属）100nm 厚度金2化学气相沉积200nmSiO23金属刻蚀100nm金4深硅刻蚀500umSi5非金属刻蚀200SiO26涂胶显影7自动光刻线宽小于500nm8光刻胶清洗预算总金额：人民币55万元，供应商报价超出预算总金额和单价最高限价的均视为无效响应。二、供应商资格条件1．符合《中华人民共和国政府采购法》第二十二条的规定；******** 具有独立承担民事责任的能力；******** 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；******** 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；******** 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；******** 参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有违法记录；******** 法律、行政法规规定的其他条件。2．供应商应出具参加政府采购活动前3年内在经营活动中无重大违法记录的声明，且在“****网站、中****网（********）查询无不良记录（以公告发布日期之后的查询结果为准）。3．本项目不接受联合体响应。
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联系人：程姣
电话：010-53605906
手机：15010770853 (欢迎拨打手机/微信同号)
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