项目概况与招标范围###路设备Foreline13套，Pumpparts171套 招标编号：0730-254********3-76包名称###路设备数量：Foreline13套，Pumpparts171套简要技术要求：1###路装置适用于G6OLEDArrayCVD，ArrayIMP，ArrayDET，TPOTCVD,TPOTDET,TFECVD设备及其配套干泵设备；2###路材质：SUS304BA以上，管径大于6"时使用********
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