寸：≥210mm*210mm,≥1片；********极限真空度：≤1Pa;恢复真空时间：大气压到*********103mbar≤5分钟；漏率：≤5*10？Pa·L/********长期使用温度范围：150-250℃;温度均匀性：≤±5℃;********等离子体辉光稳定时间：≤********;反射功率稳定时间：≤********膜厚均匀性：玻璃衬底沉积100nm厚度测定，Si薄膜，片内≤5%、片间≤10%、批间≤5%,边...
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