置进行公开招标。2.项目概况与招标范围 项目概况与招标范围:PECVD&离子注入机尾气处理装置CVD尾气处理装置:10台,IMP尾气处理装置:1台 招标编号:0730-254********3-75包名称:PECVD&离子注入机尾气处理装置数量:CVD尾气处理装置:10台,IMP尾气处理装置:1台简要技术要求:(1)PECVD废气处理设备主要使用在平板显示工.
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