于量子材料和量子器件研究，支持多种离子的注入。拟购设备需要具有8英寸的大的载物台，离子源系统、###路、束流调整系统、真空系统、静电扫描系统、报警系统、软件操作界面。拟购设备需要能够通过控制注入离子的种类（B,P,As,Sb等）、能量和剂量，精确控制掺杂区域的导电类型（P型或N型）、掺杂浓度和掺杂深度（结.
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