一、项目基本情况 项目编号：0664-2540SUMECZF114 项目名称：东南大学电子科学与工程学院原子层刻蚀机采购 预算金额：560.******** 万元（人民币） 最高限价（如有）：548.******** 万元（人民币） 采购需求：1、反应腔由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率；腔壁可加热；内腔壁耐氟基、氯基以及其他常用刻蚀气体刻蚀；本底真空≤ 1E-6 mbar；真空漏率≤ 2E-4 mbar·l/s；兼容8英寸及以下直径的晶圆和不规则小片；不同尺寸样片之间的切换，无需反应腔的开腔破真空。2、上、下电极之间的距离可电动调节、以优化工艺；下电极配置机械卡盘和背氦冷却，采用动态温度控制技术功能，配置外置循环冷却器和内置加热器；下电极温度控制范围不小于-20 °C到+200 °C，控温精度≤ ±1 °C。本项目接受进口产品。本项目所属行业：工业。本项目(非专门)面向中小企业采购。本项目(非专门)面向监狱企业采购。本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。最高限价：548万元（境内外产品最高限价均为此限价，其中境外产品不含外贸代理费），超过最高限价的为无效投标文件项目编号：0664-2540SUMECZF114（SEU-ZB-********） 合同履行期限：境外产品：开具信用证后300天内设备安装调试合格。境内产品：合同签订后300天内设备安装调试合格。 本项目( 不接受 )联合体投标。 二、申请人的资格要求： 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定； 2.落实政府采购政策需满足的资格要求：无 3.本项目的特定资格要求：（1）如为进口产品，需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动：（1）供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。（2）凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商，不得再参加本项目的采购活动。（3）供应商被“****网站、“中****网"(********)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：方婷
电话：010-53341173
手机：13011091135 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：fangting@zbytb.com
