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东南大学电子科学与工程学院掩模光刻机采购项目招标公告
日期:2025-06-25 收藏项目
一、项目基本情况 项目编号:0664-2540SUMECZF098 项目名称:东南大学电子科学与工程学院掩模光刻机采购 预算金额:370.******** 万元(人民币) 最高限价(如有):360.******** 万元(人民币) 采购需求:电子科学与工程学院采购掩模光刻机1套,主要技术参数:1)分辨率:≤********(i线,光刻胶厚度1um,真空接触,等间距图形)。 ≤********(i线,光刻胶厚度1um,曝光间隙20um,等间距图形)。2)光强均匀度:≤±********%,其中在最大晶圆尺寸区域测量至少9个点,均匀性=±(最大值–最小值)/(最大值+最小值)。3)正面对准精度≤±********,背面对准精度≤±********。本项目接受进口产品。本项目所属行业:工业。本项目(非专门)面向中小企业采购。本项目(非专门)面向监狱企业采购。本项目(非专门)面向残疾人福利性单位采购。最高限价:360万元(境内外产品最高限价均为此限价,其中境外产品不含外贸代理费),超过最高限价的为无效投标文件项目编号:0664-2540SUMECZF098(SEU-ZB-********) 合同履行期限:境外产品:开具信用证后270天内设备安装调试合格。境内产品:合同签订后270天内设备安装调试合格。 本项目( 不接受  )联合体投标。 二、申请人的资格要求: 1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定; 2.落实政府采购政策需满足的资格要求:无 3.本项目的特定资格要求:(1)如为进口产品,需提供有效的产品授权书。4.拒绝下述供应商参加本次采购活动:(1)供应商单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商,不得参加同一合同项下的政府采购活动。(2)凡为采购项目提供整体设计、规范编制或者项目管理、监理、检测等服务的供应商,不得再参加本项目的采购活动。(3)供应商被“****网站、“中****网"(********)列入失信被执行人、税收违法黑名单、政府采购严重违法失信行为记录名单。

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