一、项目基本情况原公告的采购项目编号: FSKY34********号 原公告的采购项目名称: 阜阳师范大学中长期贷款项目——2025年度安徽省光伏产业共性技术研究中心初步建设向方四(光伏材料方向) 首次公告日期: 2025年06月04日 二、更正信息更正事项: □采购公告 ☑采购文件 更正内容:序号 更正项 更正前内容 更正后内容 1单温区滑轨式PECVD系统部分技术参数及要求1、炉管尺寸 Φ80mmX1800mm(外径*总长)。加热区 400mm。2、工作温度 1100℃。最高温度 1200℃。7、等离子体系统:真空系统基础真空:≤1×10⁻2 Torr(机械泵组)8、气体###路###路(MFC质量流量计控制,精度±1%满量程)1、炉管尺寸 ≥Φ350×p00mm(外径*总长)。加热区400mm。2、工作温度≤500oC,最高温度500oC7、真空极限:9×10-5 Pa 8、气体###路###路(MFC质量流量计控制,精度±1%满量程)2项目名称阜阳师范大学中长期贷款项目——2025年度安徽省光伏产业共性技术研究中心初步建设向方四(光伏材料方向)阜阳师范大学中长期贷款项目——2025年度安徽省光伏产业共性技术研究中心初步建设方向四(光伏材料方向)更正日期: 2025年06月09日
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