≤±2μm3、重复定位精度：X/Y：≤±********μm；Z：≤±1μm4、加工能力：最小线宽≤1um，线宽精度≤±10%其他：1、货物免费保修期1年，在保修期内，发生质量问题，中标人保证在接到通知1日内赶到现场处理。如有因质量问题引起的损坏，应对产品予以维修或更换，费用由中标人承担。2、签订合同后180天内，中标人必须提.
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