****网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:设备名称:薄胶匀胶显影机数量:2台设备原理及用途:基本原理:通过高速旋转晶圆,利用离心力将光刻胶均匀铺展在晶圆表面,形成厚度可控的胶膜。在曝光后用显影液溶解光刻胶的曝光和未曝光部分,形成所需的微细图案..
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