标范围：Harsh干泵ArrayCVDHarsh：36台，IMPHarsh：8台，ArryaDETHarsh：13台，TPOTCVDHarsh：10台，TPOTDETHarsh：5台，TFECVDHarsh：38台 招标编号：0730-254********3-58包名称：Harsh干泵数量：一批简要技术要求：（1）干泵主要为面板行业真空主设备的配套抽真空设备；（2）平均故障间隔时间：≥********H，投标文件中需要提供说明.
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联系人：陈思颖
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