量用扫描电子显微镜(CD-SEM)是一种根据图像的灰度来确定图形的边界，进而计算出特征图形尺寸的扫描电子显微镜，主要应用于半导体生产制造中光刻/刻蚀工艺后的关键尺寸测量。资金到位或资金来源落实情况:已落实。项目已具备招标条件的说明:已具备。2、招标内容招标项目编号:0722-254YDZB05ZB2/01招标项目名称:8吋特征尺寸测...
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