一、采购项目基本情况采购人：无锡华润上****公司采购项目名称：无锡华润微电子干泵集采标段二:Clean 制程干泵采购项目编号：DZCGXY2********采购内容和范围：无锡华润微电子干泵集采标段二:Clean 制程干泵是否采用费率寻源：否二、申请人资格要求1. 资格要求:生产原厂（提供营业执照）或原厂官方代理商（提供代理商证）。 2. 业绩要求:2022年1月1日起至投标截止日，持续在8寸及以上量产半导体晶圆工厂内有销售安装实例的，≥550m3/h 对应型号在8寸及以上量产半导体晶圆工厂Clean制程近2年装机数量不少于50台（提供合同或销售订单）。 3. 技术要求:满足发包规范所有技术要求（提供盖章确认发包规范附件）
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