吋线干法刻蚀工序，为实现半导###路8吋硅片制造流程中的介质刻蚀工艺。资金到位或资金来源落实情况:已落实。项目已具备招标条件的说明:已具备。2、招标内容招标项目编号:0722-254YDZB04ZB2/01招标项目名称:8吋介质刻蚀设备采购项目项目实施地点:中国陕西省招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注18.
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