一、项目基本情况 招标人：润芯感知科技（南昌）有限公司 建设地点：南昌 项目规模：/ 项目资金来源：自筹 项目名称：润芯感知科技（南昌）有限公司 标段名称：离子注入机采购 招标内容和范围：为拓展MEMS产品线，达成商业计划的需要，新购1台离子注入设备，主要用于 B、P、As、BF2 等元素注入， 剂量范围在 5E11-1E16 ions/cm2 之间，能量 5-180keV。产品尺寸为150mm，圆片厚度为300~1000um，设备需具备升级8寸的能力。 交货期/工期：中标供应商应在合同签订后150个自然日内将设备交付到我司工厂。 注：详细内容见招标文件，以招标文件为准。
二、投标人资格能力要求 1.资格要求：NA
2.业绩要求：2020年1月1日起到截标日止，在半导体前道晶圆制造工厂有1台及以上AXCELIS GSD 200系列设备整机销售业绩
3.联合体投标： 不允许
4.代理商投标：允许
5.信誉要求：不属于在国家公共信用信息中心“信用中国”网列入失信惩戒名单
6.其他要求：NA 备注：
三、招标文件的获取
（一）获取时间 2025年04月28日- 2025年05月06日
二、投标人资格能力要求 1.资格要求：NA
2.业绩要求：2020年1月1日起到截标日止，在半导体前道晶圆制造工厂有1台及以上AXCELIS GSD 200系列设备整机销售业绩
3.联合体投标： 不允许
4.代理商投标：允许
5.信誉要求：不属于在国家公共信用信息中心“信用中国”网列入失信惩戒名单
6.其他要求：NA 备注：
三、招标文件的获取
（一）获取时间 2025年04月28日- 2025年05月06日
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