目：采购需求概况：采购内容:双光子灰度光刻系统；主要功能或目标:高精度样品加工、飞秒激光刻写、振镜扫描、高精度行程控制与成像、实时监控；需满足的要求:高的加工平整度、一定量程的超表面加工尺寸范围、高精度的三维微光学器件的加工形状精度、较快的光刻扫描速度。预计采购时间：2025-05备注：无本次公开的采购...
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