设备与化学机械抛光设备两大核心系统。玻璃通孔金属化填充设备专为实现TGV（ThroughGlassVia）内部高精度铜填充而设计，具备以下技术特性：1）可完美实现30-100μm孔径范围内的孔内铜均匀填充，铜填充均匀性（COV）高达95%以上；2）兼容6英寸和8英寸标准晶圆加工，支持********厚度范围的玻璃基板处理。设备集成先进的真空..
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