式合金炉设备数量：1台设备原理及用途：设备用途：Cu-TSV转接板、硅基集成无源器件（IP###路径中需要对电镀后Cu金属进行退火处理，消除应力。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA83/04招标项目名称:8英寸MEMS晶圆生产线之立式合金炉项目实施地点:..
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