标。2.项目概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：12英寸激光直写光刻机。********数量：1套。********核心技术指标：********曝光光源波长：LD375nm/405nm(可选)********最大光刻面积：8英寸********分辨率：优于********μ********套刻精度：优于±********拼接精度：优于±********交货地点：中国科学院上海技术物理研究所。********交货..
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联系人：程姣
电话：010-53605906
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邮箱：chengjiao@zbytb.com
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