氧化N型炉管设备1台；8吋栅氧炉管设备1台；8吋常压退火PBY炉管设备1台；8吋常压退火NSD-AS炉管设备1台；8吋BPSGReflow炉管设备1台；包168吋D-POLY炉管设备3台；8吋U-POLY炉管设备1台；8吋LP_SIN炉管设备1台；8吋LP_TEOS炉管设备1台；包178吋KrFTrack机1台；包188吋介质刻蚀设备2台；包19WAT自动探针台设备1台；包20晶圆表面污染提...
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