变换红外光谱仪和一套微纳结构检测系统：傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析，支持最大晶圆尺寸8英寸，膜厚测量范围覆盖1μm~200μm，测试精度不低于±********μm；微纳结构检测系统支持最大晶圆尺寸6英寸，单次分析区域面积不小于90μmx90μm，最大可分析深度不小于10μm。联系人:简老师联系电话:***-*******预计采购时...
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