概况与招标范围 项目概况与招标范围：蒸镀机干泵31台（plasma腔用干泵数量：6台；Loadlock腔与工艺传送腔用干泵数量：25台） 招标编号：0730-254********3-24包名称：蒸镀机干泵(二次招标)数量：31台简要技术要求：（1）干泵主要为配套抽真空设备，设备需要用于G6OLED蒸镀机真空抽气需求。（2）噪音等级：≤75dBA（3）震动等.
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联系人：王越
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