况:南京大学拟采购半导体电子器件测量系统一套,主要采购需求如下:兼容2英寸晶圆测量,真空度低于1E-5pa;电压范围:±100V;电流范围:±100mA;电压测量分辨率:********;最小电流测量分辨率:1fA;包含CV测试模块,能够检测1kHz至5MHz范围内的多频交流电容测量值,偏置电压范围±25V;脉冲产生和快速测量模块,最小输...
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