范围:无机高温炉2台 招标编号:0730-254********3-30包名称:无机高温炉数量:2台简要技术要求:(1)本装置主要用于G6OLED阵列制程中,用于修复离子注入过程中损坏的晶格;(2)IMD活化(SINX)炉:单片玻璃生产节拍:≤130s,投标时请提供生产节拍的详细计算说明;(3)ILD氢化(SiOX/SiNx)炉:单片玻璃生产节拍:≤118s,投标..
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邮箱:wangyue@zbytb.com
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