一、项目基本情况
1.项目编号/包号:THT
2.项目名称：刻蚀工艺终点检测模块定制加工
3.项目预算金额：50.00万元（人民币）。
4.项目最高限价（如有）：/万元（人民币）。
5.采购需求：
|
包号 |
标的名称 |
采购包预算金额 （万元） |
数量 |
简要技术需求或服务要求。 |
|
01 |
刻蚀工艺终点检测模块定制加工 |
50.00 |
1项 |
为满足氧化硅刻蚀工艺的需求，需要在刻蚀设备上定制终点检测模块，并增加对应硬件驱动以及相应的软件适配。最终实现设备自动控制刻蚀工艺作业时间，精确控制刻蚀深度，确保不同晶圆或不同批次之间的一致性，提高刻蚀工艺稳定性。 |
6.合同履行期限：自合同生效日起至本次加工服务完成止。
7.本项目不接受联合体投标。
二、申请人的资格要求
1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；
2.本项目的特定资格要求：
1）通过“信用中国”网站和中国政府采购网（www.ccgp.gov.cn）查询信用记录（截止时点为投标截止时间），对近三年内列入失信被执行人、重大税收违法案件当事人、政府采购严重违法失信行为记录名单的供应商，没有资格参加本项目的采购活动；
2）单位负责人为同一人或者存在直接控股、管理关系的不同供应商，不得参加同一合同项下的政府采购活动。
三、获取招标文件
1.时间：2025年04月02日至2025年04月09日，每天上午9:00至12:00，下午13:00至17：00（北京时间，法定节假日除外）。
2.售价：500元。
四、提交投标文件截止时间、开标时间
投标截止时间、开标时间：2025年04月25日09时30分（北京时间）。
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：王越
电话：010-68819835
手机：13661355191 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：wangyue@zbytb.com
