额:6000.********万元(人民币)采购品目:A********电子光学及离子光学仪器采购需求概况:本项目用于空天信息大学(筹)先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求,拟通过采购晶圆临时键合机、晶圆解键合机、解键合清洗机、临时键合匀胶机、多功能键合机、键合对准机、超精密减薄机、CMP研磨抛光系统、晶圆红外检测系统、光.
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