民币)采购品目：C********行业应用软件开发服务,A********应用软件,A********电子光学及离子光学仪器采购需求概况：本项目用于空天信息大学（筹）先进微纳加工平台建设。根据实验室建设需求，拟通过采购深硅刻蚀、TSV通孔刻蚀、金属刻蚀机、电介质刻蚀机、电感耦合反应离子刻蚀、二氧化硅刻蚀机、RIE干法刻蚀、PZT刻蚀机...
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