目概况与招标范围：磁控溅射成膜机3台 招标编号：0730-254********3-23包名称：磁控溅射成膜机数量：3台简要技术要求：（1）本装置用于G6LTPS/LTPO（OLED）制程，进行物理气相沉积工艺。（2）设备类型：枚叶式；设备可用于生产MO、TI/AL/TI；投标文件中需提供设备结构详细说明。（3）设备的稼动率（每月的统计）：Mo≥72%，Ti/.

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