变换红外光谱仪和一台微纳结构检测系统。傅里叶变换红外光谱仪用于外延层厚度分析，支持最大晶圆尺寸8英寸，膜厚测量范围1nm~200μm，测试精度±********。微纳结构检测系统是一台定制化原子力显微镜，用于外延层上刻蚀微结构的粗糙度、垂直度检测。支持测量模式：接触、智能扫描、轻敲、相位成像、抬起、暗抬起；扫描范围..
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