氢气(9N)、氩气(9N)、氨氢混合气纯化器;尾气处理器3台;特殊气体输送管道;尾排和排风管道;给排水管道;大型设备移位和电缆接入;工艺优化临时场地洁净间排风系统、FFU、板材等。供应气体种类:高纯氢气、高纯氮气、高纯氩气、高纯氨氢混合气、普通氮气、硅烷、乙炔、三氯硅烷、HCl、三甲基铝、压缩空气、氧气、...
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