装置真空度保持：133Pa压力下保持5h，真空度值上升≤67Pa，最大极限真空度上升允许值为133Pa；3.组合泵机组型式，前级直联泵为单级旋片，抽速不小于100m³/h，极限真空度不大于10Pa；罗茨泵为八型转子，抽速不小于540m³/h，极限真空度不大于6*10-2Pa；4.功率不小于********；最大功率不小于7kw；5.接口尺寸：M36*2；********
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