一种镀膜设备。拟采购设备兼容6英寸以下样品，6英寸范围内厚度均匀性优于±3%。配置高性能电子枪，支持多种材料的连续蒸镀，镀膜腔体极限真空度优于5×10⁻⁹Torr，配置样品台的水冷功能（5℃-25℃可调），保证光刻胶剥离工艺中能有效控制衬底温度，防止光刻胶碳化，实现实时可控的高精度薄膜制备。原厂免费保修期3年。..

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