关键尺寸(OCD)测量设备1台；包7：明场晶圆缺陷检测设备1台；包8：品目1：8吋膜厚量测设备（前段）1台；品目2：8吋套刻显微镜1台；品目3：颗粒检测设备1台。资金到位或资金来源落实情况:已到位项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0664-2540SUMECA20/08招标项目名称:8吋膜厚量测设备（前段）等项目实施地..
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