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因科研需要,南京大学拟采购高压反射式高能电子衍射仪1台,用于实时监测高质量氧化物薄膜生长情况。该设备需要满足以下性能指标:
1.具有电子束双偏转系统,电子偏转角度调节范围可以达到±15°;
2.电子束斑点最小可以达到50μm;
3.配备双差分..
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