发镀膜系统主要用于金属材料表面镀膜。利用电子枪生成高能电子束，然后电子束撞击目标材料，将其加热到蒸发温度。蒸发的材料原子或分子在真空中飞行到基板表面，冷凝形成薄膜。电子束蒸发镀膜系统具有以下技术特点：1.与其他低成本的PVD工艺相比，电子束蒸发具有非常高的材料利用效率。2.电子束系统仅加热目标源材料...
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