概况与招标范围********招标编号：ZKX****************招标项目名称：中束流离子注入机。********数量：1台。********主要功能要求：本次购买的中束流离子注入机用于晶圆掺杂工艺。其原理是通过先将所需杂质电离，然后由电场引出，再通过磁场筛选，形成一个集中的离子束，最终注入到硅片中，达到掺杂目的。中束流离子注入机由气源柜、离子源.
本招标项目仅供 正式会员查阅，您的权限不能浏览详细信息,请点击注册/登录，请联系工作人员办理入网升级。
联系人：程姣
电话：010-53605906
手机：15010770853 (欢迎拨打手机/微信同号)
邮箱：chengjiao@zbytb.com
下载招标公告:中束流离子注入机招标公告.pdf
