项目概况与招标范围项目概况与招标范围：离子注入机 2台招标编号：0730-254********3-11包名称： 离子注入机数量：2台简要技术要求：（1）离子注入机主要用于G6代玻璃基板的有源矩阵有机发光二极体离子注入工艺，包含MOS管的源极/漏极注入、LDD注入、存储电容注入、阈值电压调节注入、离子导电化等；（2）玻璃基板尺寸.
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联系人：王越
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