数量：1台质量要求：1.分辨率：最小特征尺寸********微米，最小线宽********微米。2.曝光速度：4英寸晶圆405纳米激光曝光时间[最小值]:35；4英寸晶圆的375纳米激光曝光时间[最小值]:35。服务要求：1.安装与培训调试：供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培训和维护培训，确保设备正常运行。2.售后服务：提供至少3年免费..
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