；支持多材料和尺寸，微米分辨率光刻技术。采购数量：1台质量要求：1.基板尺寸最大可达150毫米。2.具备顶面和底面校准功能，以及红外校准功能。3.掩模与晶圆对准以及晶圆与晶圆对准。4.接触式曝光和接近式曝光。5.可减少衍射的光学元件。服务要求：1.安装与培训调试：供应商需提供专业的安装调试服务，提供全面的操作培..
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