博IC5000-S1规格转盘加热控温范围室温-150℃温度分辨率********℃控温精度＜±********℃（稳定后控温精度）转盘温度均匀性＜±2%转速范围100-5000rpm转速分辨率±1rpm加速度可调范围100-5000rpm/s最大单步旋涂时长3000s时间分辨率********最多可编程100组100步程序,更多可扩展标配可调卡爪载物盘（10-35mm方片或圆片可调），点击查看原
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