尺寸测量用扫描电子显微镜1台；ReviewSEM设备1台；包28吋金属刻蚀设备1台；包38吋钨化学机械研磨设备1台；包48吋浅沟槽隔离二氧化硅沉积设备1台；8吋金属有机物化学气相沉积设备1台；包58吋钝化层二氧化硅沉积设备1台；8吋钝化层氮化硅沉积设备1台；8吋SACVD（USG&HARPUSG）膜沉积设备1台；8吋SACVDBPSG膜沉积设备1台。资金到..

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